操控過(guò)程中，由測(cè)厚探頭檢測(cè)到薄膜厚薄信號(hào)傳送到計(jì)算機(jī)，計(jì)算機(jī)把厚薄信號(hào)與當(dāng)時(shí)設(shè)定均勻厚度進(jìn)行比照，根據(jù)厚薄誤差量以及曲線改動(dòng)趨勢(shì)進(jìn)行運(yùn)算，操控電機(jī)驅(qū)動(dòng)閥門(mén)移動(dòng)，當(dāng)薄膜偏厚時(shí)，電機(jī)正向移動(dòng)，風(fēng)口關(guān)小；相反，電機(jī)反向移動(dòng)，風(fēng)口增大，經(jīng)過(guò)改動(dòng)風(fēng)環(huán)圓周上…