在操控過程中,由測(cè)厚探頭檢測(cè)到薄膜厚薄信號(hào)傳送到計(jì)算機(jī),計(jì)算機(jī)把厚薄信號(hào)與當(dāng)時(shí)設(shè)定均勻厚度進(jìn)行對(duì)照,根據(jù)厚薄偏差量以及曲線改動(dòng)趨勢(shì)進(jìn)行運(yùn)算,操控電機(jī)驅(qū)動(dòng)閥門移動(dòng),當(dāng)薄膜偏厚時(shí),電機(jī)正向移動(dòng),風(fēng)口關(guān)小;相反,電機(jī)反向移動(dòng),風(fēng)口增大,通過改動(dòng)風(fēng)環(huán)圓周…